液晶顯示器彩色濾光片製程VOC逸散調查研究-黃100年度研究計畫A311

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    內容簡介

      近來國內液晶顯示器蓬勃發展中,本研究針對此新興產業之彩色濾光片可能產生之揮發性有機化合物進行濃度監測調查,掌握國內相關勞工暴露及逸散源,並提出相關改善及預防危害之建議。 本研究利用光電離子偵測器、霍氏紅外線光譜儀及傳統採樣方式,結果發現揮發性有機物濃度呈現不同時間樣式(time pattern),乙醇及丙酮是維護作業(preventive maintenance)所使用溶劑,幾乎在白天測得,乙醇主要由清潔人員使用,丙酮出現時間極短,但濃度相對很高,主要是擦拭維護作業的溶劑;PGMEA(propylene glycol monomethyl ether acetate)是製程溶劑中的成分之一,持續出現時間長,但濃度約為500~600 ppb,係因製程機台已有隔絕及局部排氣之改善措施。

      維護作業所使用溶劑對總揮發性有機物濃度貢獻度大,作業環境空氣中揮發性有機物濃度高低順序為丙酮、PGMEA、乙醇、環己酮、醋酸,維護作業使用溶劑貢獻度不小,值得注意。由光電離子偵測器測得總揮發性有機物濃度,由廠區中央走道為中心向外呈現多個區域性(zoning)推送,有向角落、牆壁累積的趨勢。在濃度蓄積處測得之揮發性有機物濃度,可以看出PGMEA的排除效率最差(通風出口 / 作業樓層濃度比小於1),PGMEA與乙醇經迴風進入的比例(通風入口 / 作業樓層濃度比)都大於1,顯示沒有通風清除的效果,造成揮發性有機物濃度蓄積。 本研究建議需補充足夠通風換氣量來提昇整體換氣效果,避免作業區呈現區域性濃度分佈,與通風入口揮發性有機物濃度高於作業區之矛盾情形;丙酮與乙醇對總揮發性有機物濃度貢獻度大,丙酮使用時間短,而且作業區較侷限,利用標準作業方式有效管理溶劑使用,有效管理降低逸散情況。


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